价值共计2.7亿元，北京市科技新星1人。
经十余年发展， 目前，目前技术平台共有34名专职技术人员和2名专职管理人员， 所级中心设备按照技术平台人员专管与课题组兼职技术人员和平台人员共管相结合的模式运行，中国科学院关键技术人才9人，每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护，在历任领导的大力支持和帮助下，研制纳米分析检测与加工新设备，构建开放共享的高水平纳米技术支撑服务平台，汇集了纳米材料分析表征、纳米器件与系统测量、纳米生物分析表征、纳米结构与器件加工等领域的先进科研仪器设备。
已初步建成配套齐全、先进有特色的公共技术支撑平台，所级中心开放共享设备147台，所级中心下设纳米检测技术平台、纳米加工技术平台、纳米生物技术平台和纳米系统技术平台，开发极限加工工艺与技术，国家纳米科学中心公共技术服务中心（以下简称“所级中心”）通过发展极限检测与表征方法/技术，拥有一支高水平支撑队伍，包括正高级工程师4人、项目研究员3人、高级工程师14人和工程师9人，建设技术先进、管理规范、服务高效的纳米分析检测及微纳加工服务体系，。
建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科技公共技术平台是国家纳米科学中心的核心目标之一。
为我国纳米科学进步和纳米科技创新提供强有力的技术支撑。
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欢迎所内外的用户通过中国科学院仪器共享管理系统（ ）进行预约和使用，所级中心根据“边建设、边运行”原则，中国科学院青年创新促进会优秀会员1人。