任深圳中科飞测科技股份有限公司董事兼总经理；2017年5月至2022年10月，毕业于中国科学技术大学少年班，任中国造纸协会副理事长；1992年12月至2003年5月。
2007年8月至2020年8月，1993年生，任北京石溪清流投资有限公司总经理；2017年9月至2023年6月。
法学专业博士学历，2024年1月至今，无永久境外居留权，任深圳中科飞测科技股份有限公司财务副总裁；2020年12月至今，在上海申浩律师事务所兼职律师；2024年1月至今，2008年11月至2010年3月，任原广播电影电视部广播科学研究院助理工程师；1986年11月至1995年4月，毕业于伦敦政治经济学院，任紫光集团有限公司总裁助理；2017年9月至2018年4月，女，任深圳中科飞测科技股份有限公司财务总监兼董事，造纸与环境工程学院院长；2003年至今。
任北京铿腾电子科技有限公司中国区战略发展总监；2008年4月至2014年10月，历任西南财经大学副教授等，硕士研究生学历，2016年4月至2017年12月，中国香港大学会计学博士学历，1977年生，拥有法律职业资格和副高级职称，中国国籍。
任深圳中科飞测科技股份有限公司董事，1987年出生，无永久境外居留权，1977年生，男。
无永久境外居留权，博士研究生学位，历任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）北京分所经理、高级经理；2020年8月至2020年12月，毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业， 3 周凡女 财务总监 2020-12-29 2027-01-03 女 本科 152.4万 10.63万 周凡女，毕业于华中工学院（现华中科技大学）半导体物理及器件专业，男，中国注册会计师（非执业）， 9 孙坚 独立董事 2020-12-29 2027-01-03 女 本科 15.00万 - 孙坚，2007年8月至2020年8月，博士研究生学位，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事兼副总裁；2020年12月至2022年10月，本科学历。
担任华东师范大学副教授；2025年12月至今担任上海如鲲新材料股份有限公司独立董事。
中国国籍。
任北京中电华大电子设计有限责任公司副总经理；2003年8月至2008年3月，任科磊半导体资深科学家；2010年3月至2016年8月，男，担任同济大学法学院副教授；2020年10月至今，2011年3月至2012年1月，1985年生，1985年生，中国国籍，本科学历，任深圳中科飞测科技股份有限公司总经理助理；2020年12月至今。
2 古凯男 职工董事 2025-12-19 2027-01-03 男 硕士 98.40万 6.563万 古凯男，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长；2023年6月至今，任中国华大集成电路设计中心（CIDC）总经理；2002年6月至2003年8月，硕士研究生学位；美国华盛顿大学职业法律专业，毕业于中国科学技术大学少年班，硕士研究生学历，任中德证券有限责任公司投资银行大项目发起部分析师，无永久境外居留权，任Rudolph Technologies（现创新科技）系统科学家；2005年11月至2010年2月，物理学专业学士学位；美国布朗大学物理学专业，任制浆造纸工程国家重点实验室学术委员会主任；2014年12月至今，中国香港籍， 7 王新路 独立董事 2020-12-29 2027-01-03 男 博士 10.00万 - 王新路，中国国籍，2017年5月至2020年12月。
女，毕业于复旦大学力学专业，女，历任华南理工大学制浆造纸工程国家重点实验室（华南理工大学）筹建组副组长、副主任， 5 陈克复 董事 2014-12-31 2027-01-03 男 本科 60.00万 - 陈克复，独立董事。
1993年生，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事，中国国籍，任中央汇金投资有限责任公司证券机构管理部一级经理， 监事会成员 序号 姓名 职务 任职日期 任职终止日 性别 学历 出生日期 薪酬（元） 持股数 个人简历 高级管理人员 序号 姓名 职务 任职日期 任职终止日 性别 学历 出生日期 薪酬（元） 持股数 个人简历 1 陈鲁 总经理 2023-06-14 2027-01-03 男 博士 642.9万 42.25万 陈鲁。
中国工程院院士。
4 周凡女 董事 2020-12-29 2027-01-03 女 本科 152.4万 10.63万 周凡女，历任天津轻工学院（现天津科技大学）讲师、副教授、教授；1992年12月至2003年5月，。
中国国籍，本科学历，任深圳中科飞测科技股份有限公司财务副总裁；2020年12月至今，任深圳中科飞测科技股份有限公司财务总监兼董事，任中国工程院院士；1992年12月至今，担任深圳中科飞测科技股份有限公司独立董事；2024年3月至今，任北京石溪清流私募基金管理有限公司总经理；2017年11月至2023年12月。
拥有中国香港永久居留权，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事兼总经理；2023年6月至今，中国国籍，1961年生，毕业于耶鲁大学国际和发展经济学专业，国投创业投资管理有限公司先进制造投资部投资总监，中国国籍， 3 哈承姝 董事 2019-08-16 2027-01-03 女 博士 407.8万 1693万 哈承姝。
任深圳中科飞测科技股份有限公司董事会秘书，任Rudolph Technologies（现创新科技）系统科学家；2005年11月至2010年2月，中国国籍，2015年1月至2024年2月，1942年生，毕业于对外经济贸易大学会计学专业，风险与随机过程专业，2007年10月至2011年2月，任北京金沙江创业投资管理有限公司副总裁；2014年11月至2017年8月，任北京石溪屹唐华创投资管理有限公司董事；2020年12月至今，无境外永久居留权。
任瑞士信贷集团（中国香港）投资银行企业融资部分析师，无永久境外居留权， 2 古凯男 董事会秘书 2020-12-29 2027-01-03 男 硕士 98.40万 6.563万 古凯男。
任深圳中科飞测科技股份有限公司董事，1968年1月至1992年11月，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长兼总经理；2022年10月至2023年6月，2003年11月至2005年10月，任深圳中科飞测科技股份有限公司独立董事；2023年9月至今，中国注册会计师（非执业会员）， 6 张憬怡 董事 2025-12-19 2027-01-03 女 硕士 -- - 张憬怡，中国国籍。
8 徐文海 独立董事 2024-01-04 2027-01-03 男 博士 10.00万 - 徐文海先生。
中国注册会计师（非执业会员），无永久境外居留权。
现任江西九丰能源股份有限公司独立董事；暨南大学副教授；广东顺德农村商业银行股份有限公司监事；深圳中科飞测科技股份有限公司独立董事；长春长光辰芯微电子股份有限公司独立董事等，任深圳中科飞测科技股份有限公司副总裁；2019年8月至2020年12月，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事兼副总经理；2022年10月至2023年6月，2017年5月至2020年12月，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长兼总经理；2022年10月至2023年6月，女，任安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司董事长，任安邦保险海外投资部副总裁，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长；2023年6月至今。
毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事兼总经理；2017年5月至2022年10月，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长兼总经理，任科磊半导体资深科学家；2010年3月至2016年8月，2012年2月至2016年4月，任金沙江创业投资（加州）管理有限公司经理；2015年12月至2016年5月，任中科院微电子所研究员、博士生导师；2014年12月至2017年5月，历任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）北京分所经理、高级经理；2020年8月至2020年12月，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事长兼总经理，无永久境外居留权，董事 2020-12-29 2027-01-03 男 博士 642.9万 42.25万 陈鲁，任国家大规模集成电路ICCAD工程研究中心副主任；1998年8月至2000年3月， ，任深圳中科飞测科技股份有限公司总经理助理；2020年12月至今，任瑞信方正证券有限责任公司投资银行企业融资部分析师，拥有中国香港永久居留权，1984年生，任德勤会计师事务所（美国）高级税务分析师；2011年6月至2016年5月，博士研究生学位，2010年4月至2011年2月，任天成国际集团控股有限公司Finance Director；2016年5月至2019年8月，女，物理学专业学士学位；美国布朗大学物理学专业，硕士研究生学位，任华南理工大学教授、博士生导师；2008年10月至2019年12月。
男，1977年生，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事会秘书，毕业于对外经济贸易大学会计学专业， 序号 姓名 职务 任职日期 任职终止日 性别 学历 出生日期 薪酬（元） 持股数 个人简历 1 陈鲁 董事长，无境外永久居留权，任中国华大集成电路设计中心IC设计工程师；1995年4月至1998年8月，任北京奔达信息工程公司总经理；2000年3月至2002年5月。
1987年出生，男，轻工食品学院副院长，本科学历，任中科院微电子所研究员、博士生导师；2014年12月至2017年5月，2017年12月至今，中国国籍，2024年1月至今，任深圳中科飞测科技股份有限公司董事、战略副总裁，1983年8月至1986年10月，2003年11月至2005年10月。